投影式光刻機就是完全不接觸,直接用精密鏡頭把圖案縮小,投射到晶圓上。
這種不僅完全不刮片、不髒片,而且解析度極高。
接近式光刻機解析度的極限是3-5微米,當初陳望伺服電機和打字計算機的晶片就是擦著接近式光刻機的極限製造出來的。
但是投影式光刻機的起步點就是1-2微米,然後透過不斷升級,解析度的單位就能從微米變成奈米。
這些都是後話了,此時陳望首要的是要把微米級別的投影式光刻機研發出來。
因為本質不同,所以想要研發出投影式光刻機有幾大難點需要攻克。
比如高精度縮小投影鏡頭,亞微米級對準系統,高精度工作臺,更強更穩定的光源與照明,還有掩膜、環境、工藝的全部升級。
對於陳望來說,其中最難的就是高精度縮小投影鏡頭,因為這東西的材料國內現在根本燒不出來。
而其他幾個難點在他研發接近式光刻機的時候或多或少都改進了行業的生產工藝,研發了相關的儀器裝置,現在還有加工精度能達到亞微米級別的機床,所以工作臺、導軌、結構件這些卡脖子的機械部分都不算大問題。
所以現在最大的難點就是光學玻璃材料。
但是陳望已經搞出來了!
他今天就是去測試成品的,如果成功就沒有難點了,嘿嘿嘿!
陳望研製的是硼冕玻璃,國內叫QB21,不過國內只能生產出工業用的普通玻璃。
而陳望需要的是光刻級別,高透、零氣泡、零條紋、超低應力、超高均勻性,只有這些都達到之後,才能用來做投影式光刻的鏡頭。
而此時陳望就在對自己製造出來的特級QB21一步一步進行檢查。
第一步就是強光透射,看其沒有氣泡、結石、雜質、條紋······
陳望先把燈箱通電預熱,燈管發出刺眼的青白色強光,箱內風扇輕微嗡嗡響。
他拿上深色的護目鏡戴上,把玻璃斜對著光源,與光線成三十到四十五度角,然後從側面緩緩轉動,讓強光從玻璃內部穿透過來.......
片刻之後,安靜得只有機器運轉的實驗室響起陳望得意的自言自語聲。
“完美!”
“漂亮!”
小才十分無語,“你這才看一個面,高興什麼呢。”
“沒辦法,其他面肯定更完美!”陳望說著把玻璃正對著光源開始觀察,“看見沒有,簡直完美無缺!”
“來,我們再來看這一面,嘖嘖嘖,一絲波紋、絲狀的影子都沒有,這簡直就是極品中的極品!”
最後陳望全表面、無死角的看完之後一臉感嘆的搖搖頭,“我怎麼能這麼厲害,整塊玻璃沒有一點瑕疵,我敢保證這比德國的BK7還要完美!”
小才夾著嗓子,“我敢保證這比德國的BK7還要完美~你就檢測了個強光投射,其他的都沒有檢測得意什麼呢!”
陳望:“.......你覺不覺得這話有些似曾相識?”
小才:“——”








