眾人換上全封閉防塵服進入黃光超淨間,五百奈米防紫外黃色熒光燈散發著溫潤光暈,新風系統輕微嘶鳴,中央步進式光刻機與旋塗機靜靜佇立。
唐國維站在塗膠機主控屏前,戴好防靜電橡膠手套:“各單元注意,準備上機。”
隨行韓籍技術員靠向冷水機,右手探入衣袋,拇指反覆按壓遙控器。
然而溫控讀數紋絲不動,穩穩停在二十點零度。
“怎麼回事?怎麼一點反應都沒有?”技術員額頭滲出冷汗,在兜裡死命按動按鈕。
唐國維看在眼裡,朗聲下令:“啟動太行零一號光刻膠中試塗覆!”
“裝置自檢完成!”副手高聲彙報。
“放片,開啟雷射對中與真空吸附。”唐國維吩咐。
“吸盤壓強負八十千帕,鎖定正常!”副手迅速應答。
八英寸高純單晶拋光矽片平穩吸附在旋轉託盤中央,機械艙門徐徐閉合。
唐國維手持精密微量注液器,從恆溫瓶抽取兩毫升金色母液。
“注液就位。”唐國維沉穩發令。
一滴晶瑩剔透、泛著純淨琥珀微光的黏稠液體,穩穩落在鏡面中心。
“張總,準備起旋。”唐國維轉頭看向張紅旗。
張紅旗沉聲道:“拉到四千轉,走!”
“起轉!”唐國維按鍵啟動。
超高速無刷電機驟然發出尖銳蜂鳴,托盤瘋狂旋轉,強大的離心力將琥珀色樹脂如水銀瀉地般推向四周。
崔在勳雙眼死貼防爆視鏡,屏息等待膠體飛濺。
然而,視鏡內的景象讓他臉上的得意瞬間凝固。
金色液體平滑延展,無絲毫氣泡與顆粒斷層,在防紫外黃光折射下,薄膜由內而外泛起一圈圈炫目璀璨的鏡面彩虹色暈!
“出彩虹膜了!”副手忍不住失聲大喊。
“膜層極其平整,轉速四千轉穩定!”操作員同樣激動高呼。
六十秒旋塗倒計時歸零。
電機的蜂鳴漸漸消退,吸盤緩緩停駐。
整塊八英寸矽片光潔如鏡,均勻覆蓋著一層澄澈膠膜,在黃光下反射出無瑕光暈。
“這……絕不可能!”崔在勳失聲退後,“國產膠怎麼可能有這種流動性?!”
張紅旗冷然發令:“送入雷射橢偏測厚儀,驗資料。”
機械臂托起矽片,平穩滑入全自動檢測倉,紅光探針在九個基準點上飛速掃描。
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