矽片被移入場發射掃描電子顯微鏡的樣品倉。
“抽真空完畢,開始掃描!”顯微鏡操作員高喊。
大螢幕上的影像被放大到十萬倍,視野中呈現出一排排整齊絕倫的平行光柵線條!
邊緣陡直如刀劈斧削,沒有分毫毛刺!
“微觀線寬測定中!”技術員的聲音帶上了顫音。
標尺從一百奈米飛速收窄。
九十奈米。
“跨過八十奈米門檻了!”沈研究員屏息低呼。
七十奈米。
最終,檢測儀器的綠色方框死死鎖死在一條堅不可摧的數值上。
六十五奈米!
“極限線寬,六十五奈米!”
“全視場波前透過率,百分之九十四點六!”唐國維激動得破音高呼。
孫院士顫抖著雙手摘下老花鏡,眼眶通紅地湊近螢幕:“波前像差只有十五分之一波長!”
“透光率甚至超過了尼康同代商用機型整整三個百分點!”
“奇蹟!這是咱們中國人自己的深紫外投影物鏡!”老院士淚灑衣襟。
李建國率先用力鼓起掌來。
“我們成功了!”年輕的技術員們相擁高呼。
整個潔淨大廳內爆發出海嘯般的歡呼與掌聲!
老工匠們把安全帽拋向半空,孟師傅抬手用粗糙的袖口抹去眼角淚花,笑得合不攏嘴。
“好!好一個赤烏破曉!”
李建國轉過身,雙手用力握住張紅旗的手掌:“紅旗,際華給國家工信戰線立下了天大的功勞!”
張紅旗神色平靜而堅毅:“李司長,這是全國數百家配套單位與老技工合力的成果。”
“國家絕不會讓拓荒者孤軍奮戰!”
李建國從公文包中鄭重取出一份蓋有鮮紅印章的機密紅標頭檔案。
在全場院士與工匠的見證下,李建國大聲宣讀批覆:
“科技部與信產部聯合決定,正式立項深紫外光刻物鏡國家高技術重大專項!”
“首期戰略扶持直投資金,一億五千萬元整,即刻劃撥到位!”
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