聯合攻關第二十七天。
上午九點，整機測試中心。
老梁把最新一份檢測報告拍在桌上，盯著那幾處標紅的資料，眉頭擰得能夾死蚊子。
“又是這裡。”
第一輪完整曝光鏈路跑通以後，他們沒有停下來慶祝。
二十天裡，裝置視窗幾乎排得滿滿當當。
光源、反射光學、工件臺、計量控制，每個組都拿出了實打實的改進。
如今，連續完成多輪對準曝光已經不是難題。
真正麻煩的是，印出來的圖形，有些區域對得很準，有些區域卻總要偏上一點。
同一片晶圓，中心位置漂亮，邊緣幾處卻總過不了預定的階段標準。
“只剩三天了。”老梁揉了揉眉心，“再這麼試下去，怕是真得延期。”
坐在旁邊的計量組負責人沒反駁。
誰也不願意延期。
可技術這東西，不是喊兩句口號就能變好的。
更何況，三十天的期限是他們自己定的。
做不到照實彙報就是了，沒人會拿裝置安全和檢測資料開玩笑。
陳知遠卻沒接話。
他正翻著過去幾輪的晶圓檢測結果。
一張，兩張，三張。
幾組分佈圖在螢幕上來回切換。
忽然，他停住了。
“梁老師，把這三張疊到一起。”
“嗯？”
“再加上各自曝光之前的晶圓形貌測量。”
老梁沒多問，直接招呼人調資料。
幾分鐘後，一張新的對照圖出現在螢幕上。
陳知遠伸手點了點右上角。
“看這裡。”
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