六月初的京城已經熱起來了,研究院樓下的銀杏樹葉子從嫩綠變成了深綠,在午後的陽光下泛著油亮的光。
林陽站在研究院門口,看著一輛深灰色的商務車緩緩停在臺階下面。
車門開啟,一個五十多歲的白人男人率先下車,身材高瘦,頭髮灰白,穿著一件深藍色短袖襯衫,袖子捲到小臂中間,露出結實的前臂。
他掃了一眼研究院大樓的外觀,目光在門楣上“三叉戟微光科技”幾個字上停了一瞬,然後大步朝林陽走過來。
“林先生?”
他的中文發音很標準,但帶著一種刻意壓平的腔調。
“克勞斯先生。”
林陽伸出手:
“歡迎來京城。”
克勞斯握住他的手,力度很重。
然後他鬆開手,目光直視著林陽的眼睛,第一句話就是:
“林先生,我們這次來只做一件事——驗廠。
三天時間,我們要看到所有關鍵資料,每一臺裝置的原始記錄,每一個工藝環節的檢測報告。
如果資料有假,我們當場走人。”
林陽點了點頭,側身做了個“請”的手勢:
“可以。我帶你們去潔淨室。”
克勞斯身後跟著五個人,有男有女,每個人手裡都提著黑色的儀器箱。
走在最後的是一個戴眼鏡的中年女人,手裡攥著一個巴掌大的干涉儀,那是蔡司原廠的高精度便攜檢測裝置,市面上買不到,只供給認證客戶。
一行人穿過研究院大廳,上了電梯,在三樓停下。
走廊盡頭是潔淨室的門,門口掛著“無塵區域”的牌子,旁邊放著幾雙防塵鞋套和幾件白色的無塵服。
克勞斯和他的團隊換上無塵服,推開潔淨室的門。
那臺銀灰色的極紫外光刻機整機安靜地立在潔淨室中央,外表沒有任何多餘的裝飾,線條簡潔得像一臺加大的精密儀器。
光源系統的真空腔體泛著冷光,反射鏡組的恆溫支架上亮著幾盞指示燈,雙工件臺的導軌在燈光下閃著金屬的光澤。
克勞斯沒有急著走近。
他站在門口看了一圈潔淨室的佈局,然後走向最近的一臺控制檯,低頭看了一眼螢幕上的系統介面。
“系統日誌能調出來嗎?”
“可以。”
周遠從旁邊走過來,他是光源專案的負責人,今天專門來配合驗廠。
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