李處長把茶杯裡最後一口茶喝完，放下杯子，語氣比剛來的時候輕鬆了不少：“行，今天這三個問題，你答得比我預想的實在。
智慧政務的事，我回去跟司裡彙報，後續會有正式的對接流程。PC作業系統這邊，部裡會關注你們的進展，如果有需要協調的資源，可以走正常渠道提。”
他站起身，拿起搭在扶手上的夾克。
林辰也站起來，但沒有立刻送客，而是往前走了半步，語氣認真了一些：“李處長，還有一件事，我想提前跟您通個氣。”
李處長穿夾克的動作停了一下，回頭疑惑的看著他。
“我想做光刻機。”
“啥機？”
“光刻機...”
李處長定了定神，把夾克搭回扶手上，重新坐下來，他的目光直視林辰，語重心長的說道：“林總，你這步子是不是邁得太大了？
上面很看好你們對國內半導體的貢獻。
藍芯的TD基帶把大唐的協議棧專利盤活了，華屏光電的電容屏產線是從零拉起來的，中芯國際因為你們的訂單產能利用率拉滿，六家電池廠被你收編之後保住了幾千個崗位。
這些事，部裡都看在眼裡。去年那份產業評估報告，結論是可扶持、需引導的戰略性物件，這個定調到現在沒變。
但光刻機跟這些不一樣，這不是一條產線、一個團隊、幾個億投進去就能看到響動的事。國內推了十幾年，投了多少錢，你比我清楚。”
“我清楚。”林辰說。
“2010年4月，國際上量產的頂尖光刻機是AS的193奈米浸沒式，單次曝光穩定做38奈米，配合雙重曝光摸到28奈米、22奈米。
臺積電、三星的先進產線全在用這套裝置。
EUV的NXE:3100剛出貨給三星研發線，實驗室樣機，離商用還差好幾年”
李處長點點頭後又搖頭，嘆息一聲道：“但是國內得水平還差的遠啊，上海微電子在售的、能交付的，是SSB500系列，先進封裝光刻機、i-line分步投影光刻機，做封裝、、功率器件的，解析度在350奈米到1微米級別。
前道晶片製造的ArF掃描光刻機，沒有。
90奈米前道光刻機還在樣機攻關階段，正式交付是猴年馬月的事。
中芯國際、華虹做45奈米、65奈米、90奈米晶片，光刻機全部進口AS和尼康的，國產裝置進不了先進前道產線。”
李處長伸出一根手指在茶几上點了點：“我們的代差至少十年以上，而且不是主機差十年，是光源、物鏡、雙工件臺、精密運動臺，整套供應鏈都缺。
你買幾臺二手裝置拆開研究，能拆出圖紙，拆不出供應鏈。
你一家民營企業，憑什麼覺得自己能成功？”
林辰聽完，沒有急著反駁，端起茶杯喝了一口。
“李處長，您剛才說的這些，我一條都不否認。上海微電子現在的水平我清楚，前道ArF沒有，90奈米還在攻關，國內整套供應鏈缺失，這些我比誰都明白。
但您剛才有一句話，我想掰開來說。您說EUV剛出貨給三星研發線，實驗室樣機，離商用還差好幾年。這句話反過來聽就是，EUV還沒有量產。”
李處長微微挑眉。
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