東莞市人民醫院,特需病房。
陳歡靠在床頭,拔掉了手背上的輸液針。
趙紅梅站在一旁,手裡端著溫水,眼眶的紅腫還沒褪去。
“紅梅,備車。”陳歡掀開被子,雙腳落地。
“你瘋了!”趙紅梅一把按住他的肩膀,“靶向藥剛建立血藥濃度,你現在連站穩都費勁!”
“無錫那邊光刻機重新校準需要口令。”陳歡推開她的手,抓起搭在椅背上的外套,“五奈米的底板上了機,我必須在現場。”
病房門被推開。馬海大步走進來,手裡攥著車鑰匙。
“歡哥,直升機在醫院頂樓停機坪。”馬海沒勸,他太瞭解陳歡。
陳歡點頭,穿上外套。
趙紅梅沒再攔。她轉身從櫃子裡拿出一件厚羽絨服,披在陳歡身上。“我跟你去。”
無錫,江南微電子。
一號無塵車間。黃光區內,那臺AS極紫外光刻機靜靜矗立。
梁秋穿著防靜電服,雙眼佈滿血絲,死死盯著主控螢幕。
“光路校準偏差0.002奈米。”丁建國站在旁邊,聲音發乾,“陳總還沒到,這引數誰敢拍板?”
車間氣閘門“嗤”地一聲開啟。
陳歡走進來。腳步有些虛浮,但脊背挺得筆直。
梁秋猛地回頭,眼底閃過狂喜:“陳總!”
陳歡沒廢話,徑直走到主控臺前。他掃了一眼螢幕上的引數。
“透鏡組溫度補償拉高兩度。”陳歡雙手撐在操作檯上,“鉿基材料的吸光率比矽基高,光路偏差0.002奈米在公差允許範圍內。開機。”
丁建國嚥了口唾沫,重重按下綠色的啟動鍵。
極紫外光源亮起。
肉眼不可見的高能光束,穿透蔡司透鏡組,精準打在塗滿光刻膠的晶圓上。
車間裡只剩下機器低沉的轟鳴。
梁秋盯著電子顯微鏡的即時反饋螢幕。
“第一層金屬走線刻蝕完畢。”梁秋聲音發抖,“線寬,4.9奈米。邊緣平滑度完美。”
陳歡拉過一把椅子坐下。胸腔裡那股撕裂的痛楚被靶向藥壓制,取而代之的是一種深沉的疲憊。
“繼續。”他吐出兩個字。
十二個小時。
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