《東莞人生》第174章 屬於硅基的奇迹(1)

作者:湯姆王的奇妙冒險·1小時前

東莞市人民醫院,特需病房。

陳歡靠在床頭,拔掉了手背上的輸液針。

趙紅梅站在一旁,手裡端著溫水,眼眶的紅腫還沒褪去。

“紅梅,備車。”陳歡掀開被子,雙腳落地。

“你瘋了!”趙紅梅一把按住他的肩膀,“靶向藥剛建立血藥濃度,你現在連站穩都費勁!”

“無錫那邊光刻機重新校準需要口令。”陳歡推開她的手,抓起搭在椅背上的外套,“五奈米的底板上了機,我必須在現場。”

病房門被推開。馬海大步走進來,手裡攥著車鑰匙。

“歡哥,直升機在醫院頂樓停機坪。”馬海沒勸,他太瞭解陳歡。

陳歡點頭,穿上外套。

趙紅梅沒再攔。她轉身從櫃子裡拿出一件厚羽絨服,披在陳歡身上。“我跟你去。”

無錫,江南微電子。

一號無塵車間。黃光區內,那臺AS極紫外光刻機靜靜矗立。

梁秋穿著防靜電服,雙眼佈滿血絲,死死盯著主控螢幕。

“光路校準偏差0.002奈米。”丁建國站在旁邊,聲音發乾,“陳總還沒到,這引數誰敢拍板?”

車間氣閘門“嗤”地一聲開啟。

陳歡走進來。腳步有些虛浮,但脊背挺得筆直。

梁秋猛地回頭,眼底閃過狂喜:“陳總!”

陳歡沒廢話,徑直走到主控臺前。他掃了一眼螢幕上的引數。

“透鏡組溫度補償拉高兩度。”陳歡雙手撐在操作檯上,“鉿基材料的吸光率比矽基高,光路偏差0.002奈米在公差允許範圍內。開機。”

丁建國嚥了口唾沫,重重按下綠色的啟動鍵。

極紫外光源亮起。

肉眼不可見的高能光束,穿透蔡司透鏡組,精準打在塗滿光刻膠的晶圓上。

車間裡只剩下機器低沉的轟鳴。

梁秋盯著電子顯微鏡的即時反饋螢幕。

“第一層金屬走線刻蝕完畢。”梁秋聲音發抖,“線寬,4.9奈米。邊緣平滑度完美。”

陳歡拉過一把椅子坐下。胸腔裡那股撕裂的痛楚被靶向藥壓制,取而代之的是一種深沉的疲憊。

“繼續。”他吐出兩個字。

十二個小時。

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