整機整合正式啟動。
唐國安在潔淨室旁邊的會議室裡主持整合方案會，白板上已經畫好了整機結構圖和整合時序圖。
三大核心部件的引數只用一行帶過——光源穩定性99.2%、反射鏡面形精度0.09n雙工件臺同步精度0.5n
這些資料在前幾周的測試中已經反覆驗證過，今天要討論的不是它們各自有多好，而是它們裝到一起之後能不能協同工作。
會議室裡坐了二十多個人，光源組、反射鏡組、雙工件臺組的核心成員全部到齊，長桌兩側擠得滿滿當當。
牆上投影著整機的三維模型圖，三大核心部件用不同顏色標註，連線處的細節被放大了好幾倍。
“我幹了一輩子光學，最怕的不是單個零件不行，是零件都好，裝到一起就打架。”
唐國安站在白板前面，手裡攥著一支馬克筆，在整機結構圖上畫了一個紅圈，位置正好在光源與反射鏡之間的光路連線處：
“這裡，公差要求是奈米級。
光源出光軸線和反射鏡光學軸線之間的偏差如果超過零點五微秒，整機報廢。”
周遠坐在長桌左側，手裡翻著整合方案的資料冊，聞言抬起頭來：
“唐老，您這話說了二十年了。”
“說了二十年還是這麼回事。”
唐國安回頭瞪了他一眼，會議室裡笑成一片。
林陽坐在長桌盡頭靠窗的位置，面前攤著一份整合方案書，他沒有跟著笑，目光落在唐國安畫的那個紅圈上。
那個位置確實是整臺光刻機最脆弱的一環——光源在真空腔裡，反射鏡在恆溫支架上，兩個系統各自獨立測試的時候都完美無缺，但裝到一起之後，任何微小的機械振動、熱變形、電磁干擾都可能讓光路發生偏移，精度直接歸零。
“唐老，對準方案用的是主動補償還是被動穩定？”
林陽問了一句。
唐國安轉過身來看著他，馬克筆在手裡轉了一圈：
“兩套方案並行。
被動穩定靠恆溫支架和減震地基，主動補償靠雙工件臺的即時反饋。
但這裡有個問題——”
他在白板上畫了兩個箭頭，一個指向光源方向，一個指向反射鏡方向：
“主動補償的反應速度取決於雙工件臺的控制頻率。
如果雙工件臺的響應時間比光源出光延遲還慢，補償就來不及。”
“所以還是要從時序耦合上解決。”
林陽說。
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