一旁的曹俊原本也豎起耳朵聽著，不過因為不明白的地方太多，很快就雲裡霧裡，完全聽不進去。
又是一個多小時。
屋內牆壁上掛載的幾臺高精度測控儀上，感測器數值一直在微微跳動。
起初，溫度曲線還在小幅波動，但隨著渦旋式壓縮機的持續平穩運轉，數字漸漸趨於平緩。
“21.61℃…21.65℃…22.01℃…”
溫度算是屋內環境最重要的一項指標，直至穩定在22度左右開始停下，上下起伏在0.02度之間，溼度計也穩定在48%，這臺精密空調機組算是達到預期。
邊上的空氣潔淨度檢測儀上，微小顆粒物的數值也再度直線下降，這讓錢田寶與曹俊二人也鬆了口氣。
兩次試驗，兩次都沒掉鏈子。
一切除錯結束，沈永健也留在廠裡陪大家吃晚飯。
廠裡的小灶師傅似乎早就有準備，必不可少的紅燒肉外，其他菜色也很豐富。
…
一連又是三天的測試。
空調機組與空氣系統機組都完全符合預期。
沈永健也再次前來廠裡，進行最後的光刻機升級工作。
車間外的稽核與保衛同志多了好幾位，正嚴格檢查著入車間觀摩的人員。
主要就是多了幾位技術部和研發處的優秀骨幹。
這也是沈永健專門提的，光刻機技術保密要求高不假，但對於核心培養的技術人員還是要放寬。
前兩代的光刻機升級研製屬於特殊，畢竟當時研究微電子的也就那麼些人，真正能看懂光刻機大致理論的人都寥寥無幾，也沒什麼必要。
如今微電子廠主要進行積體電路的光刻生產，這些年下來也有一批優秀的同志脫穎而出。
對於改進新一代光刻機的觀摩機會，沈永健自是希望新的同志能好好實際感受學習，而不是停留在紙面上。
且這次連帶微電子所本身也來了好幾位同志。
包括卓邵文與他的幾位學生，包括沈永健自己帶的學生。
新四車間內，眾人靜靜看著沈永健與卓邵文以及兩位大師傅檢查所有的零配件。
偌大的車間極為安靜，許多第一次見沈永健的技術員，當下甚至能聽到自己的心跳和呼吸。
同時儘可能地平復著心情，知曉像今日這種機會難得，不敢打擾裝配。
而防靜電地板上的四人，穿著嚴密的無塵服，隨著沈永健完成最後確認，便開始正式裝配。
幾人對於光刻機都是老行家，哪怕杜師傅是第一次參與裝配，但透過這些年部分光刻機故障的維修經驗，當下動作都行雲流水，沒有絲毫停頓。
“氣浮導軌水平度微調完畢，直線電機定子鎖緊。”
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